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ISTEQ公司開(kāi)發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體(LPP)的EUV光源。該光源具有ji高的亮度和ji高的穩定性。它采用可自刷新的材料,無(wú)需中斷和更換燃料盒,因此持續運行時(shí)間極長(cháng)。 ISTEQ公司為L(cháng)PP光源開(kāi)發(fā)的燃料是針對特定應用的光譜范圍而設計的。然而,對于掩模檢查的應用,公司開(kāi)發(fā)了一種高頻錫旋轉靶,已在全球范圍內獲得專(zhuān)li。荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源
鹵鎢燈是一種從可見(jiàn)光到近紅外光的常規光源,又稱(chēng)為鎢鹵燈泡、石英燈泡,是白熾燈的一個(gè)變種。原理是在燈泡內注入碘或溴等鹵素氣體,在高溫下,升華的鎢絲與鹵素進(jìn)行化學(xué)作用,冷卻后的鎢會(huì )重新凝固在鎢絲上,形成平衡的循環(huán),避免鎢絲過(guò)早斷裂。 鹵鎢燈光纖光源 5W
鹵鎢燈光纖光源 20W是一種從可見(jiàn)光到近紅外光的常規光源,又稱(chēng)為鎢鹵燈泡、石英燈泡,是白熾燈的一個(gè)變種。原理是在燈泡內注入碘或溴等鹵素氣體,在高溫下,升華的鎢絲與鹵素進(jìn)行化學(xué)作用,冷卻后的鎢會(huì )重新凝固在鎢絲上,形成平衡的循環(huán),避免鎢絲過(guò)早斷裂。因此鹵素燈泡比白熾燈更長(cháng)壽。具有非常穩定和平滑的光譜,可以應用于光譜測量顏色測量。主要的光譜從300nm到2500nm。
高穩定鹵素燈 30W是一個(gè)300-2600nm的緊湊型高穩定鹵素燈,優(yōu)化設計使得Z的功率應用于CM和DK系列單色儀,3100°K色溫下可工作400小時(shí)。
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